دورية أكاديمية

A comprehensive study of performance and reliability of P, As, and hybrid As/P nLDD junctions for deep-submicron CMOS logic technology

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: A comprehensive study of performance and reliability of P, As, and hybrid As/P nLDD junctions for deep-submicron CMOS logic technology
المؤلفون: Nayak, D.K., Ming-Yin Hao, Umali, J., Rakkhit, R.
المصدر: IEEE Electron Device Letters IEEE Electron Device Lett. Electron Device Letters, IEEE. 18(6):281-283 Jun, 1997
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:07413106
15580563
DOI:10.1109/55.585358