دورية أكاديمية

Large Stroke Vertical PZT Microactuator With High-Speed Rotational Scanning

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Large Stroke Vertical PZT Microactuator With High-Speed Rotational Scanning
المؤلفون: Qiu, Z., Rhee, C.-H., Choi, J., Wang, T. D., Oldham, K. R.
المصدر: Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 23(2):256-258 Apr, 2014
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:10577157
19410158
DOI:10.1109/JMEMS.2014.2303643