دورية أكاديمية
High Phosphorus Dopant Activation in Germanium Using Laser Spike Annealing
العنوان: | High Phosphorus Dopant Activation in Germanium Using Laser Spike Annealing |
---|---|
المؤلفون: | Hsu, W., Wang, X., Wen, F., Wang, Y., Dolocan, A., Kim, T., Tutuc, E., Banerjee, S.K. |
المصدر: | IEEE Electron Device Letters IEEE Electron Device Lett. Electron Device Letters, IEEE. 37(9):1088-1091 Sep, 2016 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 07413106 15580563 |
---|---|
DOI: | 10.1109/LED.2016.2587829 |