دورية أكاديمية
Laser Spike Annealing for Shallow Junctions in Ge CMOS
العنوان: | Laser Spike Annealing for Shallow Junctions in Ge CMOS |
---|---|
المؤلفون: | Hsu, W., Wen, F., Wang, X., Wang, Y., Dolocan, A., Roy, A., Kim, T., Tutuc, E., Banerjee, S.K. |
المصدر: | IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 64(2):346-352 Feb, 2017 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 00189383 15579646 |
---|---|
DOI: | 10.1109/TED.2016.2635625 |