دورية أكاديمية

Design and Optimization of Triple-k Spacer Structure in Two-Stack Nanosheet FET From OFF-State Leakage Perspective

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Design and Optimization of Triple-k Spacer Structure in Two-Stack Nanosheet FET From OFF-State Leakage Perspective
المؤلفون: Ryu, D., Kim, M., Kim, S., Choi, Y., Yu, J., Lee, J., Park, B.
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 67(3):1317-1322 Mar, 2020
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189383
15579646
DOI:10.1109/TED.2020.2969445