دورية أكاديمية

Fabrication of Germanium Tin Microstructures Through Inductively Coupled Plasma Dry Etching

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Fabrication of Germanium Tin Microstructures Through Inductively Coupled Plasma Dry Etching
المؤلفون: Lin, G., Cui, P., Wang, T., Hickey, R., Zhang, J., Zhao, H., Kolodzey, J., Zeng, Y.
المصدر: IEEE Transactions on Nanotechnology IEEE Trans. Nanotechnology Nanotechnology, IEEE Transactions on. 20:846-851 2021
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library