دورية أكاديمية
Fabrication of Germanium Tin Microstructures Through Inductively Coupled Plasma Dry Etching
العنوان: | Fabrication of Germanium Tin Microstructures Through Inductively Coupled Plasma Dry Etching |
---|---|
المؤلفون: | Lin, G., Cui, P., Wang, T., Hickey, R., Zhang, J., Zhao, H., Kolodzey, J., Zeng, Y. |
المصدر: | IEEE Transactions on Nanotechnology IEEE Trans. Nanotechnology Nanotechnology, IEEE Transactions on. 20:846-851 2021 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
كن أول من يترك تعليقا!