دورية أكاديمية

Silicon Wafer Gettering Design for Advanced CMOS Image Sensors Using Hydrocarbon Molecular Ion Implantation: A Review

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Silicon Wafer Gettering Design for Advanced CMOS Image Sensors Using Hydrocarbon Molecular Ion Implantation: A Review
المؤلفون: Kurita, K., Kadono, T., Okuyama, R., Onaka-Masada, A., Shigematsu, S., Hirose, R., Kobayashi, K., Suzuki, A., Okuda, H., Koga, Y.
المصدر: IEEE Journal of the Electron Devices Society IEEE J. Electron Devices Soc. Electron Devices Society, IEEE Journal of the. 10:720-727 2022
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library