دورية أكاديمية
Metalorganic chemical vapor deposition of InGaAsN using dilute nitrogen trifluoride
العنوان: | Metalorganic chemical vapor deposition of InGaAsN using dilute nitrogen trifluoride |
---|---|
المؤلفون: | Cheng, S.F., Woo, R.L., Noori, A.M., Malouf, G., Goorsky, M.S., Hicks, R.F. |
المصدر: | In Journal of Crystal Growth 2007 299(2):277-281 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00220248 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2006.11.207 |