دورية أكاديمية
Enabling MOCVD production on next generation 150 mm Indium Phosphide wafer size
العنوان: | Enabling MOCVD production on next generation 150 mm Indium Phosphide wafer size |
---|---|
المؤلفون: | Miccoli, I., Simkus, G., Larhirb, H., Korst, T., Mukinovic, M., Holzwarth, J., Heuken, M. |
المصدر: | In Journal of Crystal Growth 1 October 2024 643 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00220248 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2024.127793 |