دورية أكاديمية

Xenon implantation effects on the structural and optical properties of reactively sputtered titanium nitride thin films

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Xenon implantation effects on the structural and optical properties of reactively sputtered titanium nitride thin films
المؤلفون: Popović, M., Novaković, M., Mitrić, M., Zhang, K., Rakočević, Z., Bibić, N.
المصدر: In Materials Research Bulletin July 2017 91:36-41
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00255408
DOI:10.1016/j.materresbull.2017.03.031