دورية أكاديمية
CMOS compatible self-aligned S/D regions for implant-free InGaAs MOSFETs
العنوان: | CMOS compatible self-aligned S/D regions for implant-free InGaAs MOSFETs |
---|---|
المؤلفون: | Czornomaz, L., El Kazzi, M., Hopstaken, M., Caimi, D., Mächler, P., Rossel, C., Bjoerk, M., Marchiori, C., Siegwart, H., Fompeyrine, J. |
المصدر: | In Solid State Electronics August 2012 74:71-76 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00381101 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.sse.2012.04.014 |