دورية أكاديمية

First-principles molecular dynamics study of the thermal stability of the BN, AlN, SiC and SiN interfacial layers in TiN-based heterostructures: Comparison with experiments

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: First-principles molecular dynamics study of the thermal stability of the BN, AlN, SiC and SiN interfacial layers in TiN-based heterostructures: Comparison with experiments
المؤلفون: Ivashchenko, V.I., Vepřek, S.
المصدر: In Thin Solid Films 31 October 2013 545:391-400
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00406090
DOI:10.1016/j.tsf.2013.08.047