دورية أكاديمية
Calculation of oxide sputter yields
العنوان: | Calculation of oxide sputter yields |
---|---|
المؤلفون: | Depla, D., Van Bever, J. |
المصدر: | In Vacuum April 2024 222 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 0042207X |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.vacuum.2024.112994 |