دورية أكاديمية
Mechanical properties of a plasma-modified porous low- k material
| العنوان: | Mechanical properties of a plasma-modified porous low- k material |
|---|---|
| المؤلفون: | Broussous, L., Berthout, G., Rébiscoul, D., Rouessac, V., Ayral, A. |
| المصدر: | In Microelectronic Engineering 2010 87(3):466-469 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 01679317 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.mee.2009.05.018 |