دورية أكاديمية
Optical vibrometer for mechanical properties characterization of silicalite-only cantilever based sensors
العنوان: | Optical vibrometer for mechanical properties characterization of silicalite-only cantilever based sensors |
---|---|
المؤلفون: | Agustí, J., Pellejero, I., Abadal, G., Murillo, G., Urbiztondo, M.A., Sesé, J., Villarroya-Gaudó, M., Pina, M., Santamaría, J., Barniol, N. |
المصدر: | In Microelectronic Engineering 2010 87(5):1207-1209 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01679317 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.mee.2009.12.009 |