دورية أكاديمية

Self-isolating electrode deposition process using the area-selective MoO2 and MoO3 atomic layer deposition technique

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Self-isolating electrode deposition process using the area-selective MoO2 and MoO3 atomic layer deposition technique
المؤلفون: Kim, Ye Won, Park, Jejune, Park, Jeong Hyeon, Han, Eul, Jung, Younjae, Jang, Yong Woon, Lee, Min Yung, Jeon, Woojin
المصدر: In Applied Materials Today April 2024 37
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:23529407
DOI:10.1016/j.apmt.2024.102160