دورية أكاديمية

Radiation-Induced Alteration of the Reflection Spectra of Diazoquinone–Novolac Photoresist Films by Implantation of Ag+ Ions

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Radiation-Induced Alteration of the Reflection Spectra of Diazoquinone–Novolac Photoresist Films by Implantation of Ag+ Ions
المؤلفون: Kharchenko, A. A., Brinkevich, D. I.Aff2, IDS0018143923060061_cor2, Brinkevich, S. D.Aff2, Aff3, Prosolovich, V. S.
المصدر: High Energy Chemistry. 57(6):498-503
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:00181439
16083148
DOI:10.1134/s0018143923060061