دورية أكاديمية
Packet-Pulse Dual Magnetron Sputtering
| العنوان: | Packet-Pulse Dual Magnetron Sputtering |
|---|---|
| المؤلفون: | Oskirko, V. O.Aff1, Aff2, Zakharov, A. N., Pavlov, A. P.Aff1, Aff2, Rabotkin, S. V., Semenov, V. A. |
| المصدر: | Russian Physics Journal. 62(7):1191-1198 |
| قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
Find this article in full text from Springer Verlag. 
Full Text Finder | تدمد: | 10648887 15739228 |
|---|---|
| DOI: | 10.1007/s11182-019-01834-5 |