دورية أكاديمية

Packet-Pulse Dual Magnetron Sputtering

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Packet-Pulse Dual Magnetron Sputtering
المؤلفون: Oskirko, V. O.Aff1, Aff2, Zakharov, A. N., Pavlov, A. P.Aff1, Aff2, Rabotkin, S. V., Semenov, V. A.
المصدر: Russian Physics Journal. 62(7):1191-1198
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals