دورية أكاديمية
Study of work function of CVD WSix thin film on high K dielectric.
| العنوان: | Study of work function of CVD WSi |
|---|---|
| المؤلفون: | Maîtrejean, S., Allégret, S., Fillot, F., Farjot, T., Guillaumot, B., Passemard, G. |
| المصدر: | MRS Online Proceedings Library. 786(1) |
| قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
Find this article in full text from Springer Verlag. | تدمد: | 02729172 19464274 |
|---|---|
| DOI: | 10.1557/proc-786-e6.32 |