In-line focus-dose monitoring for hyper NA imaging.

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: In-line focus-dose monitoring for hyper NA imaging.
المؤلفون: Loi, Sara, Fasciszewski Zeballos, Alejandro, Iessi, Umberto, Robinson, John, Izikson, Pavel, Mani, Antonio, Polli, Marco
المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69223H-69223H-15, 15p
قاعدة البيانات: Complementary Index
الوصف
تدمد:0277786X
DOI:10.1117/12.772904