Examples of MEMS technologies resulting in industrial transfers.

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Examples of MEMS technologies resulting in industrial transfers.
المؤلفون: Danel, Jean-Sebastian, Borel, Michel, Delaye, Marie-Therese, Diem, Bernard, Grange, Hubert, Michel, France, Rey, Patrice, Viollet-Bosson, Sylvie
المصدر: Proceedings of SPIE; Nov1999, Issue 1, p486-496, 11p
قاعدة البيانات: Complementary Index
الوصف
تدمد:0277786X
DOI:10.1117/12.341238