Inverse modeling applied to Scanning Capacitance Microscopy for improved spatial resolution and accuracy.

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Inverse modeling applied to Scanning Capacitance Microscopy for improved spatial resolution and accuracy.
المؤلفون: McMurray, J. S., Williams, C. C.
المصدر: AIP Conference Proceedings; Nov1998, Vol. 449 Issue 1, p731-735, 5p
قاعدة البيانات: Complementary Index
الوصف
تدمد:0094243X
DOI:10.1063/1.56917