مؤتمر
Ion induced electron emission from Si and photoresist surfaces.
العنوان: | Ion induced electron emission from Si and photoresist surfaces. |
---|---|
المؤلفون: | Zhao, Z. Y., Xu, J. J., Guo, B. N., Arrale, A. M., Renfrow, S. N., Mehta, S., McDaniel, F. D. |
المصدر: | AIP Conference Proceedings; Jun1999, Vol. 475 Issue 1, p810-813, 4p |
قاعدة البيانات: | Complementary Index |
تدمد: | 0094243X |
---|---|
DOI: | 10.1063/1.59291 |