دورية أكاديمية
Atomic nitrogen production in a high efficiency microwave plasma source.
العنوان: | Atomic nitrogen production in a high efficiency microwave plasma source. |
---|---|
المؤلفون: | McCullough, R. W., Geddes, J., Croucher, J. A., Woolsey, J. M., Higgins, D. P., Schlapp, M., Gilbody, H. B. |
المصدر: | Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1996, Vol. 14 Issue 1, p152-155, 4p |
قاعدة البيانات: | Complementary Index |
كن أول من يترك تعليقا!