Passivated Electrode Actuator with Stable Resonance Amplitude.

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Passivated Electrode Actuator with Stable Resonance Amplitude.
المؤلفون: Bahl, G., Walmsley, R.G., DeMartini, B.E., Turner, K.L., Hartwell, P.G.
المصدر: 2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems; 2009, p1099-1102, 4p
قاعدة البيانات: Complementary Index
الوصف
ردمك:9781424429776
DOI:10.1109/MEMSYS.2009.4805579