Failure analysis of integrated devices by scanning thermal microscopy (SThM)

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Failure analysis of integrated devices by scanning thermal microscopy (SThM)
المؤلفون: Fiege, G. B. M., Feige, V., Phang, J. C. H., Maywald, M., Goerlich, S., Balk, L. J.
المصدر: Microelectronics Reliability; 1998, Vol. 38 Issue: 6 p957-962, 6p
قاعدة البيانات: Supplemental Index
الوصف
تدمد:00262714
DOI:10.1016/S0026-2714(98)00086-9