Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform
المؤلفون: Piyawattanametha, Wibool, Park, Yong-Hwa, Zappe, Hans, Gehner, A., Döring, S., Rudloff, D., Kunze, D., Dürr, P., Francés, S., Hänsel, L., Torlee, H., Elgner, A., Eckert, M., Friedrichs, M., Heber, J., Schmidt, J., Pufe, W., Hohle, C., Schulze, M., Wagner, M.
المصدر: Proceedings of SPIE; February 2020, Vol. 11293 Issue: 1 p1129302-1129302-10
قاعدة البيانات: Supplemental Index
الوصف
تدمد:0277786X
DOI:10.1117/12.2543052