Upotreba solarne energije smatra se najkorisnijom, beskonačnom i prihvatljivom za okoliš. Novije generacije solarnih ćelija koriste razne anorganske i organske materijale kao aktivne slojeve. U tankoslojnim solarnim ćelijama, javlja se potreba za primjenom transparentnih vodljivih oksida (TCO) za prozirne elektrode. Aluminijem dopirani cinkov oksid (AZO) perspektivan je materijal za ovu primjenu. U radu su opisani uvjeti pripreme uzorka magnetronskim rasprašenjem i instrumentalna karakterizacija optičkih, strukturnih i električnih svojstava pripravljenih tankih filmova. Interpretacija rezultata pokazuje da se dogodio proces dopiranja, ali se potrebna dodatna ispitivanja procesnih uvjeta i njihovo povezivanje s primjenskim svojstvima. The use of solar energy is considered the most useful, endless and most environmentally friendly. Newer generations of solar cells use various inorganic and organic materials as active layers. In thin-film solar cells, there is a need to use transparent conductive oxides (TCOs) for transparent electrodes. Aluminium doped zinc oxide (AZO) is a promising material for such application. The paper describes the conditions of sample preparation by magnetron sputtering and instrumental characterization of optical, structural and electrical properties of prepared thin films. Interpretation of the results shows that the doping occurred, but additional investigations of the process conditions with respect to application properties are required.
