28 nm UTBB FD-SOI technology for Silicon-based quantum dots and Cryo-CMOSelectronics

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: 28 nm UTBB FD-SOI technology for Silicon-based quantum dots and Cryo-CMOSelectronics
المؤلفون: Kriekouki, I., Rochette, Sophie, Rohrbacher, Claude, Camirand Lemyre, J., Pioro-Ladriere, Michel, Drouin, Dominique, Barragan, Manuel J., Mir, Salvador, Galy, Philippe
المساهمون: Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés (TIMA), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Université de Sherbrooke (UdeS), Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] (LN2), Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
المصدر: Silicon Quantum Electronics Workshop (SiQEW 2019)
Silicon Quantum Electronics Workshop (SiQEW 2019), Oct 2019, San Sabastian, Spain
بيانات النشر: HAL CCSD, 2019.
سنة النشر: 2019
مصطلحات موضوعية: [SPI]Engineering Sciences [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
الوصف: International audience
اللغة: English
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::380efdf281da1ea9d5a29ffaa5d26278
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03178723
رقم الأكسشن: edsair.dedup.wf.001..380efdf281da1ea9d5a29ffaa5d26278
قاعدة البيانات: OpenAIRE