Low Dit of $(2-4)\times 10^{10}$ using Y2O3/epi-Si/Ge Gate Stacks
| العنوان: | Low Dit of $(2-4)\times 10^{10}$ using Y2O3/epi-Si/Ge Gate Stacks |
|---|---|
| المؤلفون: | Hsien-Wen Wan, Yi-Ting Cheng, Chao-Kai Cheng, Tien-Yu Chu, Tun-Wen Pi, Jueinai Kwo, Minghwei Hong |
| المصدر: | 2023 International VLSI Symposium on Technology, Systems and Applications (VLSI-TSA/VLSI-DAT). |
| بيانات النشر: | IEEE, 2023. |
| سنة النشر: | 2023 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::12223d237c6e35269269f5ba41652818 https://doi.org/10.1109/vlsi-tsa/vlsi-dat57221.2023.10134479 |
| حقوق: | CLOSED |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........12223d237c6e35269269f5ba41652818 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |