التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
An in-depth look at comprehensive and efficient methodology for CD uniformity budget breakdown |
| المؤلفون: |
Ulrich Denker, Philip Groeger, Xaver Thrun, Stefan Buhl, Mycahya Eggleston, Nhi Doan, Gou Kawaguchi, Ranjan Khurana |
| المصدر: |
Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI. |
| بيانات النشر: |
SPIE, 2022. |
| سنة النشر: |
2022 |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1fd38019fd4df684159744cac2c22e52
https://doi.org/10.1117/12.2613709 |
| رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........1fd38019fd4df684159744cac2c22e52 |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |
