التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Film Property Analysis by FTIR on ULK Film Deposition and UV Curing Process |
| المؤلفون: |
Xinchen Cai, Tianjiao Teng, Xuanyu Lin, Peipei Li, Xinyi Chen, Zhuo Wang, Huaqiang Tan, Qing Mi, Bo Zhang, Jintao Liu |
| المصدر: |
2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC). |
| بيانات النشر: |
IEEE, 2022. |
| سنة النشر: |
2022 |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::23f5abfed0262b4263b3d38c63c452ca
https://doi.org/10.1109/cstic55103.2022.9856724 |
| حقوق: |
CLOSED |
| رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........23f5abfed0262b4263b3d38c63c452ca |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |
