التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Crystal Growth of MnS buffer layer for non-polar AlN on Si (100) deposited by RF-magnetron sputtering |
| المؤلفون: |
K. Tatejima, T. Nagata, K. Ishibashi, K. Takahashi, S. Suzuki, A. Ogura, T. Chikyow |
| المصدر: |
Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials. |
| بيانات النشر: |
The Japan Society of Applied Physics, 2018. |
| سنة النشر: |
2018 |
| مصطلحات موضوعية: |
Materials science, business.industry, Optoelectronics, Crystal growth, Non polar, Sputter deposition, business, Layer (electronics), Buffer (optical fiber) |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::370ad1584c1d2c06d5a6b38deb0170df
https://doi.org/10.7567/ssdm.2018.e-7-05 |
| رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........370ad1584c1d2c06d5a6b38deb0170df |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |
