Conception et réalisation de résonateurs à ondes de surface transverses à réseaux de fines bandes métalliques sur substrat de quartz
العنوان: | Conception et réalisation de résonateurs à ondes de surface transverses à réseaux de fines bandes métalliques sur substrat de quartz |
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المؤلفون: | C. Bonjour, W. Daniau, E. Bigler, Sylvain Ballandras, J.‐C. Renaud, E. Gavignet |
المصدر: | Journal de Physique III. 6:105-120 |
بيانات النشر: | EDP Sciences, 1996. |
سنة النشر: | 1996 |
مصطلحات موضوعية: | Physics, General Engineering, Quartz resonator, General Physics and Astronomy, Humanities |
الوصف: | A l'aide d'un modele theorique de propagation d'ondes de surface transverses sur substrats piezoelectriques sous reseaux de sillons graves ou de fines bandes metalliques deposees, une methode de prediction de la frequence de resonance d'un resonateur base sur ce type d'onde est presentee. Celle-ci fait appel a un modele de lignes de transmission permettant la prise en compte des proprietes physiques particulieres de chaque element du resonateur. On montre aussi qu'une telle approche theorique permet d'evaluer la sensibilite de la frequence de resonance aux parametres technologiques de realisation du resonateur (angle de coupe du substrat, dimensions du reseau de discontinuite, hauteur des obstacles, etc). La mise en oeuvre pratique de tels dispositifs sur substrats de quartz a rendu possible la comparaison entre predictions theoriques et resultats experimentaux, qui fait ainsi ressortir l'interet des modeles de propagation avec piezoelectricite pour ameliorer la fiabilite des calculs theoriques. |
تدمد: | 1286-4897 1155-4320 |
URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::371b8a213b1e250c22636a2781645867 https://doi.org/10.1051/jp3:1996110 |
رقم الأكسشن: | edsair.doi...........371b8a213b1e250c22636a2781645867 |
قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
تدمد: | 12864897 11554320 |
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