Physical design level PPA evaluation of buried power rail at 2nm node
| العنوان: | Physical design level PPA evaluation of buried power rail at 2nm node |
|---|---|
| المؤلفون: | Giuliano Sisto, Odysseas Zografos, Pieter Weckx, Geert Hellings, Julien Ryckaert |
| المصدر: | DTCO and Computational Patterning II. |
| بيانات النشر: | SPIE, 2023. |
| سنة النشر: | 2023 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::39582804a76952d9e78aef391209f9a6 https://doi.org/10.1117/12.2656337 |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........39582804a76952d9e78aef391209f9a6 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |