التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: |
Internal modified structure of silicon carbide prepared by ultrafast laser for wafer slicing |
المؤلفون: |
Yuliang Zhang, Xiaozhu Xie, Yaoan Huang, Wei Hu, Jiangyou Long |
المصدر: |
Ceramics International. 49:5249-5260 |
بيانات النشر: |
Elsevier BV, 2023. |
سنة النشر: |
2023 |
مصطلحات موضوعية: |
Process Chemistry and Technology, Materials Chemistry, Ceramics and Composites, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials |
تدمد: |
0272-8842 |
URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4519cb237707217cdd8fe380a265b30b https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.10.043 |
حقوق: |
CLOSED |
رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........4519cb237707217cdd8fe380a265b30b |
قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |