التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Internal modified structure of silicon carbide prepared by ultrafast laser for wafer slicing |
| المؤلفون: |
Yuliang Zhang, Xiaozhu Xie, Yaoan Huang, Wei Hu, Jiangyou Long |
| المصدر: |
Ceramics International. 49:5249-5260 |
| بيانات النشر: |
Elsevier BV, 2023. |
| سنة النشر: |
2023 |
| مصطلحات موضوعية: |
Process Chemistry and Technology, Materials Chemistry, Ceramics and Composites, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials |
| تدمد: |
0272-8842 |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4519cb237707217cdd8fe380a265b30b
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.10.043 |
| حقوق: |
CLOSED |
| رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........4519cb237707217cdd8fe380a265b30b |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |
