التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: |
Detection characteristics of a strain of a thin silicon mechanical structure by micro-Raman spectroscopy |
المؤلفون: |
Etsuo Maeda, Reo Kometani, Kou Okada |
المصدر: |
The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan. 2017:J2210401 |
بيانات النشر: |
Japan Society of Mechanical Engineers, 2017. |
سنة النشر: |
2017 |
مصطلحات موضوعية: |
Materials science, Strain (chemistry), Silicon, chemistry, chemistry.chemical_element, Composite material, Micro raman spectroscopy |
تدمد: |
2424-2667 |
URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6225cc9e06fc07706c19bba2cb1afcdc https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2017.j2210401 |
رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........6225cc9e06fc07706c19bba2cb1afcdc |
قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |