High volume nanoscale roll-based imprinting using jet and flash imprint lithography

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: High volume nanoscale roll-based imprinting using jet and flash imprint lithography
المؤلفون: Se Hyun Ahn, Mike Miller, Shuqiang Yang, Maha Ganapathisubramanian, Marlon Menezes, Vik Singh, Jin Choi, Frank Xu, Dwayne LaBrake, Douglas J. Resnick, S. V. Sreenivasan
المصدر: SPIE Proceedings.
بيانات النشر: SPIE, 2013.
سنة النشر: 2013
تدمد: 0277-786X
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::88991f08dd5088b3b81c2eb8d0858d17
https://doi.org/10.1117/12.2027765
رقم الأكسشن: edsair.doi...........88991f08dd5088b3b81c2eb8d0858d17
قاعدة البيانات: OpenAIRE