Sub-micrometer structuring of surfaces with deep UV lasers
العنوان: | Sub-micrometer structuring of surfaces with deep UV lasers |
---|---|
المؤلفون: | Serhiy Danylyuk, Martin Osbild, Leon Korr, Max Fischer, Ralph Delmdahl, Martin Reininghaus |
المصدر: | Laser-based Micro- and Nanoprocessing XVII. |
بيانات النشر: | SPIE, 2023. |
سنة النشر: | 2023 |
URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8b82525bdc19ec1fe11682fde9cbe305 https://doi.org/10.1117/12.2647865 |
رقم الأكسشن: | edsair.doi...........8b82525bdc19ec1fe11682fde9cbe305 |
قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
الوصف غير متاح. |