Sub-micrometer structuring of surfaces with deep UV lasers
| العنوان: | Sub-micrometer structuring of surfaces with deep UV lasers |
|---|---|
| المؤلفون: | Serhiy Danylyuk, Martin Osbild, Leon Korr, Max Fischer, Ralph Delmdahl, Martin Reininghaus |
| المصدر: | Laser-based Micro- and Nanoprocessing XVII. |
| بيانات النشر: | SPIE, 2023. |
| سنة النشر: | 2023 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8b82525bdc19ec1fe11682fde9cbe305 https://doi.org/10.1117/12.2647865 |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........8b82525bdc19ec1fe11682fde9cbe305 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |