New vacuum-plasma processes and equipment for microelectronics
| العنوان: | New vacuum-plasma processes and equipment for microelectronics |
|---|---|
| المؤلفون: | V. Odinokov |
| المصدر: | Nanoindustry Russia. 78:72-81 |
| بيانات النشر: | Technosphera JSC, 2017. |
| سنة النشر: | 2017 |
| مصطلحات موضوعية: | Materials science, business.industry, Microelectronics, Nanotechnology, Plasma, business |
| تدمد: | 1993-8578 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d06db041ba8cbd406c63d40a7be014a3 https://doi.org/10.22184/1993-8578.2017.78.7.72.81 |
| حقوق: | OPEN |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........d06db041ba8cbd406c63d40a7be014a3 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| تدمد: | 19938578 |
|---|