Design for manufacturability (DFM) physical verification using machine learning
| العنوان: | Design for manufacturability (DFM) physical verification using machine learning |
|---|---|
| المؤلفون: | Lynn T. N. Wang, Klaus-Peter Johnsen, Ivan Tanev, Fadi Batarseh, Chang Su, Pouya Rezaeifakhr, Uwe Paul Schroeder |
| المصدر: | DTCO and Computational Patterning II. |
| بيانات النشر: | SPIE, 2023. |
| سنة النشر: | 2023 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ea2ee437179c5938d9cd6e589f249426 https://doi.org/10.1117/12.2658646 |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........ea2ee437179c5938d9cd6e589f249426 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |