Design for manufacturability (DFM) physical verification using machine learning
العنوان: | Design for manufacturability (DFM) physical verification using machine learning |
---|---|
المؤلفون: | Lynn T. N. Wang, Klaus-Peter Johnsen, Ivan Tanev, Fadi Batarseh, Chang Su, Pouya Rezaeifakhr, Uwe Paul Schroeder |
المصدر: | DTCO and Computational Patterning II. |
بيانات النشر: | SPIE, 2023. |
سنة النشر: | 2023 |
URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ea2ee437179c5938d9cd6e589f249426 https://doi.org/10.1117/12.2658646 |
رقم الأكسشن: | edsair.doi...........ea2ee437179c5938d9cd6e589f249426 |
قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
الوصف غير متاح. |