التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Laser assisted SEM for visualizing electrical property using voltage contrast dynamics |
| المؤلفون: |
Minami Shoji, Yohei Nakamura, Yasuhiro Shirasaki, Shota Mitsugi, Heita Kimizuka, Satoshi Takada, Yuko Iwabuchi, Natsuki Tsuno |
| المصدر: |
Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII. |
| بيانات النشر: |
SPIE, 2023. |
| سنة النشر: |
2023 |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f36172bad071a0a21234d0377d33273c
https://doi.org/10.1117/12.2658182 |
| رقم الأكسشن: |
edsair.doi...........f36172bad071a0a21234d0377d33273c |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |
