Design and Analysis of Thin film MEMS based Humidity Sensor
| العنوان: | Design and Analysis of Thin film MEMS based Humidity Sensor |
|---|---|
| المؤلفون: | Sheena Christabel Pravin, V. Asokan, K. Senthil Kumar, M. Palanivelan, J. Karthi, S. Mohanraj |
| المصدر: | 2022 8th International Conference on Smart Structures and Systems (ICSSS). |
| بيانات النشر: | IEEE, 2022. |
| سنة النشر: | 2022 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fbb07c9e45e6b4a921d8fadae6ce1bbd https://doi.org/10.1109/icsss54381.2022.9782270 |
| حقوق: | CLOSED |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........fbb07c9e45e6b4a921d8fadae6ce1bbd |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |