130-MHz Optomechanical Vibrating Sensor: Towards High Bandwidth / Ultrasensitive Measurements
| العنوان: | 130-MHz Optomechanical Vibrating Sensor: Towards High Bandwidth / Ultrasensitive Measurements |
|---|---|
| المؤلفون: | Pierre-Etienne Allain, Guillaume Jourdan, Denis Lagrange, Alexandre Fafin, Ivan Favero, Lucien Schwab, Bernard Legrand, Marc Gely, Nicolas Mauran, Maxime Hermouet, Louise Banniard, Sebastien Hentz |
| المساهمون: | Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques (MPQ (UMR_7162)), Université Paris Diderot - Paris 7 (UPD7)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), ANR-14-CE26-0019,OLYMPIA,Sondes opto-mécaniques pour la microscopie AFM rapide(2014), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI), Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) |
| المصدر: | IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019) IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), Jan 2019, Seoul, South Korea. pp.819-822, ⟨10.1109/MEMSYS.2019.8870718⟩ |
| بيانات النشر: | HAL CCSD, 2019. |
| سنة النشر: | 2019 |
| مصطلحات موضوعية: | Very-large-scale integration, Resonant frequency, Materials science, Mechanical sensors, business.industry, Sensing applications, Optical resonators, Bandwidth (signal processing), High resolution, Motion detection, Optical device fabrication, 02 engineering and technology, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, Noise floor, Optical surface waves, Optical sensors, 0103 physical sciences, High bandwidth, Optoelectronics, Mechanical resonance, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 010306 general physics, 0210 nano-technology, business |
| الوصف: | International audience; We show all-optical operation of a VLSI optomechanical micro-resonator designed for high resolution sensing applications. Mechanical resonance frequency is above 100 MHz with Q-factor of 1 000 in air, yielding measurement bandwidth above 100 kHz. We demonstrate low thermomechanical noise floor resolved with exquisite motion detection limit down to 4.10 -16 m.Hz -0.5 . This performance, enabled by optomechanical transduction, paves the way for very high-speed and ultra-sensitive sensing applications. |
| اللغة: | English |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0471bd0e4b9b1d7cdeda65a42237b885 https://hal.laas.fr/hal-02371188/file/MEMS2019_proceedings_final.pdf |
| حقوق: | OPEN |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi.dedup.....0471bd0e4b9b1d7cdeda65a42237b885 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |