التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Influence of the active TaN/ZrO |
| المؤلفون: |
V A, Voronkovskii, V S, Aliev, A K, Gerasimova, T V, Perevalov, I P, Prosvirin, D R, Islamov |
| المصدر: |
Nanotechnology. 32(18) |
| سنة النشر: |
2021 |
| الوصف: |
The influence of oxygen content in active zirconium oxide layers on the electrophysical properties of TaN/ZrO |
| تدمد: |
1361-6528 |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::b6723841bd24488ffc607abdfe25303d
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33620032 |
| رقم الأكسشن: |
edsair.pmid..........b6723841bd24488ffc607abdfe25303d |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |
