التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources |
| المؤلفون: |
Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Masaru Hori |
| المصدر: |
ACS Omega, Vol 5, Iss 41, Pp 26776-26785 (2020) |
| بيانات النشر: |
American Chemical Society, 2020. |
| سنة النشر: |
2020 |
| المجموعة: |
LCC:Chemistry |
| مصطلحات موضوعية: |
Chemistry, QD1-999 |
| نوع الوثيقة: |
article |
| وصف الملف: |
electronic resource |
| اللغة: |
English |
| تدمد: |
2470-1343 |
| Relation: |
https://doaj.org/toc/2470-1343 |
| DOI: |
10.1021/acsomega.0c03865 |
| URL الوصول: |
https://doaj.org/article/245b6caa49c940b58b51a3d5470b652a |
| رقم الأكسشن: |
edsdoj.245b6caa49c940b58b51a3d5470b652a |
| قاعدة البيانات: |
Directory of Open Access Journals |
Find this issue from the American Chemical Society 
Full Text Finder