دورية أكاديمية
The Influence of Deposition Temperature and Material Stress on Low-Loss Silicon Nitride Films for Integrated Quantum Optics
العنوان: | The Influence of Deposition Temperature and Material Stress on Low-Loss Silicon Nitride Films for Integrated Quantum Optics |
---|---|
المؤلفون: | Tareki, A.M., Kupchak, C., Mnaymneh, K. |
المصدر: | IEEE Photonics Journal IEEE Photonics J. Photonics Journal, IEEE. 15(4):1-7 Aug, 2023 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
كن أول من يترك تعليقا!