دورية أكاديمية
An Aluminum Nitride-Based Dual-Axis MEMS In-Plane Differential Resonant Accelerometer
| العنوان: | An Aluminum Nitride-Based Dual-Axis MEMS In-Plane Differential Resonant Accelerometer |
|---|---|
| المؤلفون: | Satija, J., Singh, S., Zope, A., Li, S. |
| المصدر: | IEEE Sensors Journal IEEE Sensors J. Sensors Journal, IEEE. 23(15):16736-16745 Aug, 2023 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 1530437X 15581748 23799153 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/JSEN.2023.3290596 |